SEM |
Normal-SEM (IT300/6610LV) |
SEM/EDS |
- 의뢰 시, 담당자 사전 협의 필수 - 시편 전처리 불가 - 부위 추가 |
협의 |
FE-SEM (IT700HR) |
- |
FE-SEM (4601F/7001F/SU6600) |
SEM/EDS/EBSD |
- 의뢰 시, 담당자 사전 협의 필수 - 시편 전처리 불가 - 부위 추가 |
저전압 FE-SEM (7900F) |
FE-SEM (7800F) |
CP |
CP (19520CP) |
단면 가공 |
- 의뢰 시, 담당자 사전 협의 |
TEM |
Cs-TEM (2100Cs) |
TEM/EDS/ELLS/ASTAR |
FE-TEM (F200) |
TEM/EDS |
In-situ TEM (2100F) |
FIB |
FIB (Helios 5 UX) |
표면/단면 분석 |
- 시료 특성에 따라 추가비용 발생 - TEM/APT 시편 가공 시, 1ea 당 2시간 기준 - 장비담당자 별도 예약 필요 |
TEM/APT 시료 가공 |
APT |
APT (LEAP 5000XS) |
LEAP 측정 |
- 시료 특성에 따라 추가비용 발생 - 시료 파단으로 인한 실험 종료 시, 별도 요금 발생하지 않음 - 기본 raw 파일(.hits) 형태로 제공, AP suite 6.3 분석 서비스 필요 시 별도 신청 - 장비담당자 별도 예약 필요 |
AP suite 6.3 |